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干式真空泵因为工作过程清洁高效而得到广泛应用


干式真空泵的应用范围十分广泛,这也主要由于其独特的工作原理可以使其在工作过程中能够清洁、高效地获得所


需要的真空环境。就其所被使用的行业不同,可以大体分为以下几个方面:


干式真空泵应用广泛,主要有以下几个方面:

1、低压化学气相沉积多晶硅制备工艺;

2、半导体蚀刻工艺。在这些生产过程中,经常使用干式真空泵或产生腐蚀性气体和磨料颗粒;

3、对于除半导体工艺外产生颗粒的某些工艺,预计颗粒不会混合到干式真空泵的泵油中,预计颗粒将从泵中排出。某些型号的干式机械真空泵可以满足要求;

4、化工、制药、食品等行业在蒸馏、干燥、脱气和包装过程中,应防止有机溶剂造成的污染,并应使用干式真空泵;

5、干式真空泵用作一般无油清洁真空系统的前泵,以防止油污染。