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螺杆式真空泵的工作原理
螺杆式真空泵工作原理主要是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的 左螺杆与右螺杆作高速转动,利用泵壳和相互啮合的螺旋桨螺旋槽分割成多个空间、形成 多个级,气体在相等的各个槽内进行传输运动,无压缩,只有螺杆末端的螺旋结构才对 气体有压缩的作用。螺杆的各级间可形成压力梯度,以分散压差和提高压缩比,各部间隙 和泵转速对泵的性能有很大影响。
在设计螺杆各部的间隙时,要考虑膨胀、加工及装配精 度和工作环境等。干式螺杆真空泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。
螺杆真空泵在半导体、电子工业中要求无油洁净真空的场合,以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有不可比拟的优势。